Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике

Сборник статей

ЦБ/УД/Ф47

Издателство

ВГУ

Местоиздаване

Воронеж

Година на издаване

1989

Страници

196 с. : с ил.

Класификационен индекс

УДК	Значение
УД782я3	Приложна електроника - сборници
ОГ4я3	Физическа химия и химическа физика - сборници

ISBN

5-7455-0135

Инвентаризация

Статус	Брой
Централна библиотека	1

Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике, ВГУ, 1989, 196 с. : с ил., 5-7455-0135.

. Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике. Воронеж: ВГУ, 1989, 196 с. : с ил., 5-7455-0135.

(1989) Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике, Воронеж: ВГУ, 196 с. : с ил., 5-7455-0135