Быстров, Ю., Колгин, Е., Котлецов, Б. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве. Москва: Радио и связь, 1988 168 с. : с ил.
Быстров, Ю., Колгин, Е., Котлецов, Б. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве. Москва: Радио и связь, 1988 168 с. : с ил.
Быстров, Ю., Колгин, Е., Котлецов, Б. (1988) Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве, Москва: Радио и связь 168 с. : с ил.
Быстров, Ю., Колгин, Е., & Котлецов, Б. (1988). Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве. Москва: Радио и связь, 168 с. : с ил.
Быстров Ю, Колгин Е, Котлецов Б. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве. Москва: Радио и связь; 1988. p. 168 с. : с ил.