Быстров, Ю., Колгин, Е., Котлецов, Б. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве,
Радио и связь, 1988, 168 с. : с ил..
Быстров, Ю., Колгин, Е., Котлецов, Б. .
Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве.
Москва: Радио и связь, 1988, 168 с. : с ил..
Быстров, Ю., Колгин, Е., Котлецов, Б. (1988)
Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве,
Москва: Радио и связь, 168 с. : с ил.
Быстров, Ю.,
Колгин, Е., &
Котлецов, Б.
(1988).
Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве. Москва: Радио и связь, 168 с. : с ил..